能量，波長色散光譜分析儀

能量色散光譜分析儀與波長色散光譜分析儀的區別

能量色散分析儀只有一個探測器，它對測量Ｘ射線能量范圍是不受限制的，而且這個探測器能同時測量到所有能量的Ｘ射線。也就是說只要激發樣品的Ｘ射線的能量和強度能滿足激發所測樣品的條件，對一組分析的元素都能同時測量出來。一般有以下三種基本類型的探測器可用于測量Ｘ射線：密封式或流氣式充氣探測器、閃爍探測器、半導體探測器。

    能量色散的條件是當樣品被激發后產生的Ｘ射線通過窗口進入探測器探測器把Ｘ射線能量轉換成電荷脈沖，每個Ｘ射線光子在探測器中生成的電荷與該光子的能量成正比。該電荷被轉換成電壓脈沖，當這些電壓脈沖經充分放大后，被送入脈沖處理器，脈沖處理器把這些代表著各個元素的模擬信號再轉換成為數字信號，由計算機進行分類，分別存入多道分析器（ＭＣＡ）的相應通道內，一般使用１０２４－２０４８道ＭＣＡ。這些通道覆蓋了分析的整個能量范圍。

    波長色散分析儀是用多個衍射晶體分開待測樣品中各元素的波長，由此對元素進行測量。晶體被安裝在適當位置，以滿足布拉格定律的要求。Ｘ射線熒光分析和其它光譜分析一樣，也是一種相對分析。這就是說，要有一套參考標樣，這些參考標樣能夠在可能感興趣的范圍內覆蓋所測元素。首先對這些標樣進行測量，記錄欲分析元素的強度，建立濃度（含量）、強度（ＣＰＳ）校準曲線，存入處理數據的計算機，供以后分析同一類型未知樣品時使用。*簡單的校準線是直線，強度與濃度的依賴關系反映儀器的靈敏度。    另外由于校準線要在很長一段時間內使用，所以應對儀器的漂移作出調整，盡管這種漂移不大，但它確實存在。這可以通過對每個分析元素選用高、低兩個參考點來實現。制備若干被稱作ＳＵＳ（調整樣）的特殊樣品，它們含有適量的分析元素，有很好的長期穩定性。利用它們可以求出高、低強度值。